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反射式膜厚儀的測試原理和技術(shù)功能說(shuō)明

發(fā)布時(shí)間:2021-06-23   點(diǎn)擊次數:2259次
  反射式膜厚儀可用于測量半導體鍍膜,手機觸摸屏ITO等鍍膜厚度,PET柔性涂布的膠厚等厚度,LED鍍膜厚度,建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測量膜厚的場(chǎng)合。A3-SR-100S可用于測量2納米到3000微米的膜厚,測量精度達到0.1納米。 在折射率未知的情況下,A3-SR-100S還可用于同時(shí)對折射率和膜厚進(jìn)行測量。配手持式探頭,A3-SR-100S可以用來(lái)一鍵式測量車(chē)燈罩表面硬化膜(包括過(guò)渡層)和背面的防霧層,精度達到0.02um, 只需1秒鐘,還可以測量?jì)蕊椉?外飾件的鋁陽(yáng)極氧化層和漆層的厚度,精度達到0.02um
  反射式膜厚儀測量系統利用薄膜干涉光學(xué)原理,對薄膜進(jìn)行厚度測量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面,探頭同位接收反射光線(xiàn)。TF200根據反射回來(lái)的干涉光,用反復校準的算法快速反演計算出薄膜的厚度。測量范圍1nm-3mm,可同時(shí)完成多層膜厚的測試。對于100nm以上的薄膜,還可以測量n和k值。
  反射式膜厚儀的技術(shù)功能:
  微電腦控制系統,大液晶顯示、PLC操作面板,方便用戶(hù)進(jìn)行試驗操作和數據查看。
  嚴格按照標準設計的接觸面積和測量壓力,同時(shí)支持各種非標定制。
  測試過(guò)程中測量頭自動(dòng)升降,有效避免了人為因素造成的系統誤差。
  支持自動(dòng)和手動(dòng)兩種測量模式,方便用戶(hù)自由選擇。
  系統自動(dòng)進(jìn)樣,進(jìn)樣步距、測量點(diǎn)數和進(jìn)樣速度等相關(guān)參數均可由用戶(hù)自行設定。
  實(shí)時(shí)顯示測量結果的較小值、平均值以及標準偏差等分析數據,方便用戶(hù)進(jìn)行判斷。
  配置標準量塊用于系統標定,保證測試的精度和數據一致性。
  系統支持數據實(shí)時(shí)顯示、自動(dòng)統計、打印等許多實(shí)用功能,方便快捷地獲取測試結果。
  標準的USB接口,便于系統與電腦的外部連接和數據。
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