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反射式膜厚測量?jì)x

更新時(shí)間:2023-11-01

簡(jiǎn)要描述:

SR系列反射式膜厚儀可用于測量半導體鍍膜,手機觸摸屏ITO等鍍膜厚度,PET柔性涂布的膠厚等厚度,LED鍍膜厚度,建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測量膜厚的場(chǎng)合。

訪(fǎng)問(wèn)次數:3223廠(chǎng)商性質(zhì):代理商

反射式膜厚測量?jì)x

SR系列反射式膜厚測量?jì)x可用于測量半導體鍍膜,手機觸摸屏ITO等鍍膜厚度,PET柔性涂布的膠厚等厚度,LED鍍膜厚度,建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測量膜厚的場(chǎng)合。SR可用于測量2納米到3000微米的膜厚,測量精度達到0.1納米。 在折射率未知的情況下,還可用于同時(shí)對折射率和膜厚進(jìn)行測量。

此外,SR還可用于測量樣品的顏色和反射率。樣品光斑在1毫米以?xún)?。A3-SR進(jìn)行測量簡(jiǎn)單可靠,實(shí)際測量采樣時(shí)間低于1秒。配合我們的Apris SpectraSys 軟件進(jìn)行手動(dòng)測量,每次測量時(shí)間低于5秒。Apris SpectraSys支持50層膜以?xún)鹊哪P筒⒖蓪Χ鄬幽ず駞颠M(jìn)行測量。Apris SpectraSys 軟件還擁有近千種材料的材料數據庫,同時(shí)支持函數型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光學(xué)(Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz),混合型(Maxwell Garnett, Bruggeman)EMA 等折射率模型。

同時(shí),客戶(hù)還可以通過(guò)軟件自帶數據庫對材料,菜單進(jìn)行管理并回溯檢查測量結果。目標應用:半導體鍍膜,光刻膠玻璃減反膜測量藍寶石鍍膜,光刻膠ITO 玻璃太陽(yáng)能鍍膜玻璃各種襯底上的各種膜厚,顏色測量卷對卷柔性涂布光學(xué)膜其他需要測量膜厚的場(chǎng)合.


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產(chǎn)品型號和系統設置:

產(chǎn)品型號

A3-SR-100

產(chǎn)品尺寸

W270*D217*H90+H140

產(chǎn)品圖片


測試方式

可見(jiàn)VIS 反射(R)

波長(cháng)范圍

380nm - 1050 nm

光源

                                              進(jìn)口 鎢鹵素燈 壽命10000小時(shí)

光路和傳感器

光纖式(FILBER,進(jìn)口 )+進(jìn)口光譜儀

入射角

0 (垂直入射)  (0 DEGREE)

參考光樣品

硅片

光斑大小

About 1 mm(標配,可以根據用戶(hù)要求配置)

樣品大小

10 mm TO 300 mm (可以根據用戶(hù)要求配置)

 

光學(xué)測量技術(shù)參數(OPTICAL SPECIFICATION

測試方式

反射

 


 

膜厚測量性能指標(THICKNESS SPECIFICATION):

產(chǎn)品型號

A3-SR-100

厚度測量1

15nm - 100 um

折射率1(厚度要求)

大于100nm

準確性2

 2 nm 0. 5%

精度3

0.1 nm

1表內為典型數值, 實(shí)際上材料和待測結構也會(huì )影響性能

2 使用硅片上的二氧化硅測量,實(shí)際上材料和待測結構也會(huì )影響性能

3 使用硅片上的二氧化硅(500納米)測量30次得出的1階標準均方差,每次測量小于1.

 

軟件(SOFTWARE)

檢測項目

標準型

層數

10

材料

表格型和函數型

粗糙度模型

反射/透射

反射型+透射型

材料庫

表格型+函數型

入射角

垂直入射

折射率測量

 


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